Chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO bằng phương pháp phún xạ phản ứng DC Magnetron từ bia kim loại Zn
Ảnh hưởng của nhiệt độ lắng đọng lên cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng mỏng ZnO pha tạp F được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron.
Design of magnetron co-sputtering configuration for preparing magnesium tin silicide-based thermoelectric alloy thin films
Influence of indium and hydrogen co-doping on optical and electrical properties of zinc oxide thin flms deposited by DC magnetron sputtering.
X-ray photoelectron spectroscopic study on high-electron-mobility gallium and hydrogen co-doped zinc oxide thin films