1. Lò nung ống chân không OTF-1200X

– Chức năng: Lò nung ống xử lý ở nhiệt độ cao, lắng đọng hơi hóa học (CVD), …
– Số vùng nhiệt: 5 vùng điều khiển riêng biệt.
– Nhiệt độ hoạt động: tối đa 1200 ^oC (thời gian ngắn), 1100 ^oC (liên tục).
– Đường kính ống thạch anh: 10 cm.
– Môi trường: chân không, Ar, N2, không khí.
Thông tin chi tiết: Tuấn Anh (pttanh@hcmus.edu.vn)

–